据介绍，光刻机被誉为“芯片之母”，其内部陶瓷导轨虽微小，却堪称精密设备的“骨骼”——其精度与稳定性直接决定了高端装备制造的“高度”。过去，这类核心部件长期被国外企业垄断，成为“卡脖子”的技术壁垒。

为打破这一困局，淄博企业山东硅元新型材料股份有限公司依托深厚工业陶瓷技术积累，自2014年起联合产学研力量，十年如一日潜心攻关。从材料配方到精密成型工艺逐一突破，最终成功开发出性能比肩国际的氧化铝陶瓷导轨系列产品，为国产高端光刻机装上了自研“关节”。

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示泰瑞机器（603289）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种直线导轨工装结构”，专利申请号为CN202422454567.8，授权日为2025年7月8日。