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c、此种defect一般会造成金属桥接或者是线条扭曲。 成因:MET sputter chamber 中产生或TIW TARGET 产生,造成PHOTO PR 定义不良,导致ETCH RE 和图形变形。 典型PA 3:PAPA 外观: a、 不会导致金属变形桥接 b、PA较大且于护层中引入,导致PAD 定义时变形,且PA周围有护层残留。
本研究实现叠层薄膜电池的重大技术突破,将钙钛矿-铜铟镓硒叠层电池效率纪录大幅提升,首次超越钙钛矿单结电池27.3% (0.1065平方厘米)效率纪录,显著增强了该类型叠层电池的市场竞争力。
#03 Particle Defect的影响因素 3.1 原材料与工艺参数 在半导体制造中,原材料的质量和工艺参数的精确控制是影响粒子缺陷产生的两个关键因素。
本研究实现叠层薄膜电池的重大技术突破,将钙钛矿-铜铟镓硒叠层电池效率纪录大幅提升,首次超越钙钛矿单结电池27.3%(0.1065平方厘米)效率纪录,显著增强了该类型叠层电池的市场竞争力。低碳院光伏团队自主研发的高效率窄带隙、低粗糙度铜铟镓硒底电池技术 ...
SpeedBot Robotics showcased its automated paint defect detection system for automotive manufacturing at the third China International Supply Chain Expo (CISCE) last week, calling the event a vital ...
据悉,Defect GPT是易点云基于近500万台PC再制造全量大数据训练出的工业缺陷检测大模型,与机器人相结合打造出了全自动执行81项检测工序的再制造 ...